光刻机国产化核心地图：10家具有唯一性的A股公司

国产半导体高端制造近期迎来双重里程碑：上海芯上微装自主研发的首台350nm步进光刻机完成出厂验收，同时高端光刻胶国产化进程密集提速。在国产替代浪潮中，那些在产业链关键环节具备“唯一性”的企业，正成为突破“卡脖子”技术的核心力量。

一、整机与集成

张江高科：作为上海微电子第一大股东，是国内光刻机产业化落地的关键资本载体，直接受益于28nm光刻机量产进程。

赛微电子：长期为全球光刻巨头供应MEMS镜片，同时通过参股子公司切入国产光刻机整机业务，形成“部件+整机”双轨模式。

二、核心部件

奥普光电：背靠中科院，其自主研发的纳米级光刻机工作台国内市场占有率超60%，是国产设备实现高精度曝光的核心。

茂莱光学：国内唯一能量产DUV光刻机投影物镜的企业，其110nm分辨率物镜已用于上海微电子产线。

同飞股份：作为光刻机激光器温控设备唯一国产供应商，其技术可实现±0.1℃内的精准温控，保障光源稳定性。

三、关键材料

福晶科技：全球激光晶体绝对龙头，供应光刻机光源核心材料，占据全球80%市场份额，是光源系统的关键“卖铲人”。

华特气体：国内少数通过国际认证的光刻气体供应商之一，其ArF/Ne等混合气认证周期长达5年，技术壁垒极高。

南大光电：国内唯一实现28nm制程ArF光刻胶量产并通过头部晶圆厂认证的企业，已在客户端形成稳定供应。

四、配套设备

新莱应材：高端真空与气体管路系统领军企业，其产品已通过美国顶尖半导体设备商认证，2025年光刻机相关订单同比增长120%。

蓝英装备：其瑞士子公司为ASML提供EUV清洗设备，同时是国产光刻机晶圆清洗设备的替代龙头，深度绑定国内头部晶圆厂。